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濾光片劃痕和麻點(diǎn)

更新時間:2018-11-22 點(diǎn)擊次數(shù):2396
  一.定義:
 
  表面缺陷標(biāo)準(zhǔn):依據(jù)美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B用兩組數(shù)字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制劃痕大小,后者限制麻點(diǎn)大小。
 
  道子、亮路都統(tǒng)稱為劃痕。
 
  斑點(diǎn)、坑點(diǎn)、點(diǎn)子 都稱為麻點(diǎn)。
 
  規(guī)定長與寬的比大于4:1的為劃痕;長與寬的比小于4:1的為麻點(diǎn)。
 
  當(dāng)元件的不同區(qū)域表面光潔度要求不一樣時,等效直徑的計算以區(qū)域進(jìn)行:表面質(zhì)量要求高的內(nèi)區(qū)域其等效直徑以內(nèi)區(qū)域為準(zhǔn)(如有效孔徑的區(qū)域),表面質(zhì)量要求低的外區(qū)域計算的是整體元件的等效直徑。
 
  §美軍標(biāo)規(guī)定對于非圓形元件其直徑取相等面積圓的直徑。
 
  劃痕:
 
  以美國軍用標(biāo)準(zhǔn)《MIL-O-13830》的表面質(zhì)量劃痕樣板作為各級數(shù)劃痕的比對標(biāo)準(zhǔn)。(注意:美軍標(biāo)未指明劃痕的計量單位也即未確定劃痕的寬度和深度,只能以實(shí)際觀察樣版為標(biāo)準(zhǔn)。)
 
  這里的劃痕級數(shù)就是通常的劃痕號數(shù),標(biāo)準(zhǔn)樣版有10#、20#、40#、60#、80#  5個級。
 
  §SC-QA027表面質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)共有7條劃痕判定標(biāo)準(zhǔn),前5條是美軍標(biāo)的規(guī)定,后兩條是公司內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)。以下逐條講解:
 
  1.當(dāng)元件的劃痕級數(shù)超過表面質(zhì)量要求的劃痕級數(shù)時,元件不合格。
 
  例如:元件的表面質(zhì)量要求為60—40,則代表元件的劃痕必須≤60#,如果元件有>60#的劃痕,則元件不合格。
 
  2.當(dāng)元件的劃痕級數(shù)未超過表面質(zhì)量要求的級數(shù),但元件存在大劃痕時,所有大劃痕的長度之和應(yīng)不超過元件直徑的1/4。
 
  例如:有一長30mm寬10mm的元件,元件的表面質(zhì)量要求為60—40,有2條60#長為3 mm劃痕。
 
  它的等效直徑為20mm
 
  1/4D為1/4×20=5mm
 
  大劃痕的長度和為:
 
  3mm+3mm=6mm
 
  6mm>5mm元件大劃痕的長度和超過元件直徑的1/4。所以元件不合格。
 
  3.當(dāng)元件存在大劃痕,而大劃痕的長度之和未超過1/4D,要求所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和,不得超過大劃痕級數(shù)的一半。
 
  例:有一長30mm寬10mm的元件,元件的表面質(zhì)量要求為60—40,元件上有2條2mm的60#劃痕,3條4mm的40#劃痕。
 
  它的等效直徑為20mm
 
  1/4D為1/4×20=5mm
 
  大劃痕的長度和為:
 
  2mm+2mm=4mm
 
  4mm<5mm。符合2條。
 
  但所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為:
 
  1.60#劃痕長度為(2+2);40#劃痕長度為(4+4+4+4)
 
  2.60#劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比為60×(2+2)/20;
 
  40#劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比為40×(4+4+4+4)/20
 
  3.所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為:
 
  [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4+4)/20=36
 
  元件大劃痕級數(shù)為60;60的一半為60/2=30)36>30;因此,元件不合格。
 
  4.當(dāng)元件的劃痕級數(shù)未超過表面質(zhì)量要求的級數(shù),且元件不存在大劃痕時,所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和,不得超過大劃痕級數(shù)。
 
  例①:元件為Æ10,表面質(zhì)量指標(biāo)60—40,有2條50#劃痕2mm,1條40#劃痕3mm,另2條40#劃痕2mm,2條20#劃痕2mm,10#劃痕長度合計10 mm。
 
  所有級數(shù)的劃痕乘以劃痕長度與元件直徑之比所得乘積之和為:
 
  [50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66
 
  元件大劃痕為60#    66>60;因此,元件不合格。
 
  5.當(dāng)元件質(zhì)量指標(biāo)要求劃痕等級為20或優(yōu)于此等級時,元件表面不準(zhǔn)有密集劃痕即在元件中任何一個Æ6.35mm面積的區(qū)域,不允許有4條或4條以上的大等于10#劃痕。
 
  例:表面質(zhì)量指標(biāo)為20-10,Æ20mm,
 
  在如圖(1)所示的區(qū)或有2條長1mm
 
  和2條長0.5mm的10#劃痕。
 
  它符合5.1.1;5.1.4 (無需考慮5.1.2;5.1.3)
 
  但它不符合5.1.5條。元件不合格。
 
  6.對于圓形元件不允許有20#級數(shù)以上與直徑相等的劃痕。對于方形元件不允許有20#級數(shù)以上貫穿元件的劃痕。
 
  麻點(diǎn):
 
  依據(jù)美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B麻點(diǎn)的級數(shù)取允許缺陷的實(shí)際直徑,規(guī)定以1/100mm作為計量單位。如果麻點(diǎn)形狀不規(guī)則。則應(yīng)取大長度和大寬度的平均值作為直徑。
 
  (注意:美軍標(biāo)的麻點(diǎn)與劃痕不同,麻點(diǎn)是可計量的也即麻點(diǎn)的大小是確定的,50#麻點(diǎn)也即直徑D=0.5mm的麻點(diǎn))
 
  1.當(dāng)元件存在超過表面質(zhì)量要求的麻點(diǎn)級數(shù)時,元件不合格。
 
  例:元件為Æ20mm,質(zhì)量指標(biāo)要求為60—40,元件有1個直徑0.5mm的麻點(diǎn)       50>40元件不合格。
 
  2.每20mm直徑上只允許有1個大麻點(diǎn)。
 
  例:元件為Æ20mm,質(zhì)量指標(biāo)要求為60—40,元件有2個直徑0.4mm的麻點(diǎn)元件不合格
 
  3.每20mm直徑上所有麻點(diǎn)直徑的總和不得超過大麻點(diǎn)的2倍
 
  例: 40mm×40mm的元件,質(zhì)量指標(biāo)要求為60-40,其中一個Æ20mm的區(qū)域有40#點(diǎn)子一個,20#點(diǎn)子一個,10#點(diǎn)子一個,同時在另一個Æ20mm區(qū)域中,20#點(diǎn)子2個,10#點(diǎn)子4個,5#點(diǎn)子1個。
 
  §4.當(dāng)麻點(diǎn)質(zhì)量要求為10或更優(yōu)等級時,任何兩個麻點(diǎn)的間距必須大于1mm
 
  例:元件40mm×40mm的元件,
 
  質(zhì)量指標(biāo)要求為20-10,
 
  有兩個5#的點(diǎn)子,點(diǎn)子
 
  之間的距離為0.8mm.
 
  0.8mm<1mm元件不合格
 
  §5.小于2.5um的麻點(diǎn)略去不計。
 
  §6. 當(dāng)出現(xiàn)如圖所示密集麻點(diǎn)時以麻點(diǎn)聚集的外圍圈徑為麻點(diǎn)大小
 
  §氣泡和包絡(luò):包絡(luò)當(dāng)作氣泡考慮。
 
  依據(jù)美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-PRF-13830B氣泡的級數(shù)與麻點(diǎn)一樣,單位也相同。不規(guī)則氣泡直也是取大寬度和長度的平均值。
 
  氣泡的允許值與麻點(diǎn)相同。但氣泡和包絡(luò)必須與麻點(diǎn)區(qū)分開來,單獨(dú)評價。

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